1. 潔凈室燈迷你N使用示例 |
(1)檢查
風淋室內部 當我用潔凈室 燈Mini N檢查 風淋室的內部時,有堆積的垃圾。 |
(2)清潔后檢查 地板 如果您在清潔前后用Mini N檢查 潔凈室,則可以了解 清潔的重要性 。 |
(3) 確認氣流 可以使用氣流可視化設備“迷霧 夢"一起 檢查 正壓和負壓! |
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(4)檢查
無法到達的天花板如果您使用無法到達的天花板選項,則可以看到 灰塵! 在天花板上的灰塵落下之前采取措施!
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(5) 檢查難以看到的縫隙 縫 隙不可見的地方往往是灰塵的 溫床。 讓我們使用迷你N清潔! |
(6)用于 檢查隱形劃痕 迷你N不僅 檢查灰塵和灰塵,還可以帶出看不見的 劃痕! |
2.與其他公司的小燈比較 ~晶圓上的灰塵能看到多遠? ~
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我們在相同條件下比較了潔凈室燈迷你N和其他公司的小型燈。 如上圖所示,您可以看到潔凈室燈迷你N壓倒性地顯示異物。 由于它以相同的角度照射,因此您可以看到潔凈室燈迷你N的光強度有影響。
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我們能看到多遠的晶圓上的灰塵? 用粗粒子計數器驗證! !!
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它被光照亮,但我很好奇它能被看到多遠。 因此,我們用粗粒子計數器“RACCAR"測量了上述晶圓。
結果,發現可以看到小于30μm的灰塵! !!
RACCAR可以對30μm或更大的異物進行分類。 看上表,我們可以看到有30種大于34μm的異物。 與實際的晶圓圖像相比,測量值似乎很小,因為可以看到小于30μm的異物。 由此,您可以了解到,如果條件良好, 可以使用潔凈室燈迷你N確認小于30μm的異物。 |