您是否正在尋找便宜且簡單的濺射設備?
MSP-Mini僅使用一個按鈕自動涂覆。這是一種具有出色成本性能的設備。
該目標是一種消耗量的,使用尺寸較小(φ32mm),使運行成本較低。
AU目標作為標準。它證明了其對低磁化觀測臺SEMS進行預處理的能力。
可選的AG膜具有出色的光澤,并且可以輕松觀察光學顯微鏡下透明材料的表面。
體積小巧,占地面積僅為傳統設備的1/3,適配高校實驗室、科研院所或小型企業等空間有限的環境。
一體化集成設計,減少外接組件需求,安裝靈活,輕松融入現有實驗平臺。
配備智能觸控界面,參數設置直觀清晰,無需復雜培訓即可獨立操作。
全自動真空控制系統,一鍵啟動鍍膜流程,顯著降低人為操作誤差。
支持多組工藝參數存儲,實驗條件快速切換,提升研發效率。
相比大型設備,采購成本降低50%以上,適合預算有限的用戶。
功耗低(<2kW),靶材利用率高,維護成本可控,長期使用經濟性顯著。
模塊化設計,關鍵部件可單獨更換,避免整機維修的高昂費用。
磁控濺射工藝成熟,膜層均勻性達±5%以內,致密性好,附著力強。
支持多種靶材(金屬、合金、氧化物等),滿足導電膜、光學膜、防腐涂層等多樣化需求。
基片兼容性強,可處理直徑≤4英寸的樣品,適用于微納器件、傳感器等小型化產品。
多重安全防護機制:真空異常報警、過流保護、防濺射短路設計,保障實驗安全。
封閉式濺射腔體,有效防止粉塵和氣體泄漏,符合實驗室環保標準。
為材料科學、電子工程等學科提供實踐平臺,助力學生理解鍍膜技術原理。
支持小批量試生產,幫助初創企業快速驗證工藝,縮短研發周期。
可選配射頻電源、加熱基片臺等模塊,拓展功能至絕緣材料鍍膜或高溫成膜。
提供定制化服務,根據需求調整腔體尺寸或靶位數量。
? 高校實驗室:薄膜制備教學、新材料研發
? 企業研發中心:電子元件表面改性、光學器件鍍膜
? 創客工坊:微型傳感器、柔性電子器件開發
物品 | 規格 |
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電源 | AC100V,10A 3核插頭,用接地線 |
設備尺寸 | 寬度180mm,深度270mm,高度183mm (設備重4.2kg) |
旋轉泵 | 排氣速度:5 l/min(G-5DA) (泵重量:5.5kg) 旋轉泵油(SMR-100)用法:180 ml |
樣品室大小 | 內徑86mm,高度60mm(硬玻璃) |
樣本階段尺寸 | φ83mm 樣品量有效直徑φ30mm,高度20mm |
目標 | φ30mm磁石電極 AU(標準),可選(Ag) |
提出請求時,請與我們聯系以獲取銷售。
MSP-MINI的
AU目標
[t = 0.1mm]
MSP-MINI的
Ag目標
[t = 0.5mm]
旋轉泵油(包括500毫升)
[SMR-100]