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您是否正在尋找便宜且簡單的濺射設備?

發布時間:2025-02-18 點擊量:98

您是否正在尋找便宜且簡單的濺射設備?

MSP-Mini僅使用一個按鈕自動涂覆。這是一種具有出色成本性能的設備。
該目標是一種消耗量的,使用尺寸較小(φ32mm),使運行成本較低。

AU目標作為標準。它證明了其對低磁化觀測臺SEMS進行預處理的能力。
可選的AG膜具有出色的光澤,并且可以輕松觀察光學顯微鏡下透明材料的表面。

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小型磁控濺射裝置 MSP-MINI 核心優勢

1. 緊湊設計,空間利用率高

  • 體積小巧,占地面積僅為傳統設備的1/3,適配高校實驗室、科研院所或小型企業等空間有限的環境。

  • 一體化集成設計,減少外接組件需求,安裝靈活,輕松融入現有實驗平臺。

2. 操作簡便,快速上手

  • 配備智能觸控界面,參數設置直觀清晰,無需復雜培訓即可獨立操作。

  • 全自動真空控制系統,一鍵啟動鍍膜流程,顯著降低人為操作誤差。

  • 支持多組工藝參數存儲,實驗條件快速切換,提升研發效率。

3. 高性價比,低使用成本

  • 相比大型設備,采購成本降低50%以上,適合預算有限的用戶。

  • 功耗低(<2kW),靶材利用率高,維護成本可控,長期使用經濟性顯著。

  • 模塊化設計,關鍵部件可單獨更換,避免整機維修的高昂費用。

4. 穩定鍍膜,性能優異

  • 磁控濺射工藝成熟,膜層均勻性達±5%以內,致密性好,附著力強。

  • 支持多種靶材(金屬、合金、氧化物等),滿足導電膜、光學膜、防腐涂層等多樣化需求。

  • 基片兼容性強,可處理直徑≤4英寸的樣品,適用于微納器件、傳感器等小型化產品。

5. 安全可靠,綠色環保

  • 多重安全防護機制:真空異常報警、過流保護、防濺射短路設計,保障實驗安全。

  • 封閉式濺射腔體,有效防止粉塵和氣體泄漏,符合實驗室環保標準。

6. 科研與教學雙重適配

  • 為材料科學、電子工程等學科提供實踐平臺,助力學生理解鍍膜技術原理。

  • 支持小批量試生產,幫助初創企業快速驗證工藝,縮短研發周期。

7. 擴展靈活,升級無憂

  • 可選配射頻電源、加熱基片臺等模塊,拓展功能至絕緣材料鍍膜或高溫成膜。

  • 提供定制化服務,根據需求調整腔體尺寸或靶位數量。


應用場景示例

? 高校實驗室:薄膜制備教學、新材料研發
? 企業研發中心:電子元件表面改性、光學器件鍍膜
? 創客工坊:微型傳感器、柔性電子器件開發

MSP-MINI設備規格


物品規格
電源AC100V,10A 3核插頭,用接地線
設備尺寸寬度180mm,深度270mm,高度183mm
(設備重4.2kg)
旋轉泵排氣速度:5 l/min(G-5DA)
(泵重量:5.5kg)
旋轉泵油(SMR-100)用法:180 ml
樣品室大小內徑86mm,高度60mm(硬玻璃)
樣本階段尺寸φ83mm
樣品量有效直徑φ30mm,高度20mm
目標φ30mm磁石電極
AU(標準),可選(Ag)











MSP-Mini消耗品和零件清單

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MSP-MINI的
AU目標
[t = 0.1mm]

MSP-MINI的
Ag目標
[t = 0.5mm]

旋轉泵油(包括500毫升)
[SMR-100]