紅外光非接觸式測厚儀的檢測優勢
紅外線可以穿過某些物質。
這是一種利用此特性在不接觸的情況下測量特定材料厚度的技術。
由于電子設備中使用的硅、藍寶石、水晶和其他化合物的表面都經過高精度拋光,因此不能使用基于接觸的厚度測量,因為它會劃傷它們。
此外,由于材料會變形,因此無法通過接觸法準確測量橡膠、薄膜、軟樹脂等的厚度。
激光和電容是非接觸式厚度測量的常用方法,但這些是位移計,不能測量絕對值。我們的紅外光法可以測量絕對值。
紅外光測厚原理
當紅外光投射到工件上時,它首先被表面反射。
此外,紅外光透過工件內部并在背面反射。
正反兩面反射的光被光學探頭接收,利用正反兩面反射光的時間差作為光干涉差來測量厚度。
允許對多層進行單獨的厚度測量
基于此原理,在如上圖所示的多層工件的情況下,可以從各個反射光的干涉差來測量單個厚度。
以上是PC上顯示反射光干涉狀態的界面。
從波形的左邊看,它變成了R1到R4的干擾波。每個干涉差(Peak to Peak)是每一層的厚度。
絕對值測量的*性
《相對值測量》
位移計是一種相對值測量,它測量距離的差異作為厚度。因此,必須準備一個參考平面(零點)。
此外,如果到參考表面的距離 (Gs) 不是恒定的,則會出現錯誤。如果無法維持或隨時間變化,則每次執行測量時都需要進行零點復位。
《絕對值測量》
紅外光測量是通過前后表面反射光的干涉差獲得的,因此只需將工件放在傳感器頭下方即可測量絕對厚度。
即使到工件的距離(Ga)有一定波動,如果范圍小于最大測量厚度(約4mm)-工件厚度(t),測量值和精度不會受到影響。